mgr inż. Katarzyna Ungeheuer
mgr inż. Janusz Rybak
Kierownik zespołu:
Członkowie zespołu:
Doktoranci:
Kontakt:
tel: +48 12 617 40 11
e-mail: marszale@agh.edu.pl
Obszary badawcze
- Urządzenia techniki próżniowej
- Technologie cienkowarstwowe:
Metody depozycji:
- Jonowe napylanie magnetronowe,
- Naparowanie próżniowe,
- Rozwirowanie obrotowe
Metody badawcze:
- Spektroskopia UV-Vis (pomiar luminescencji absorpcji, transmisji i odbicia)
- Elipsometria spektroskopowa (nieniszczący pomiar grubości, chropowatości, współczynników załamania i ekstynkcji)
- Miernik oporności powierzchniowej
Projekty i publikacje
